本系統是公司聯合複旦大學引進美國 Instrue 四極質譜分析技術，基於四極質譜原理的 RGA 可以快速測量並(bìng)分析真空室内各種氣體的組份與分壓強，採用先進的四極杆質譜技術爲您的應用提供瞭(le)無以比拟的氣體檢測、控制、以及定性定量分析等手段，可在毫秒級時間内全動态範圍對氣體進行採樣。由真空機組、氣體樣品取樣閥、殘餘氣體分析儀、應用控制軟件等組成。

适用於(yú)真空排氣檢測、真空鍍膜氣氛與殘(cán)餘氣體監控、混合氣體配比充氣、真空檢漏、粒子加速器、真空内表面放氣鑒定、零件污染源判斷、低溫泵再生，以及去氣劑狀态測量等。

産(chǎn)品已獲得發(fā)明專利 1 項、實用新型專利 2 項，申請發(fā)明專利 1 項、 實用新型專利 1 項；

主要技術創新特點

1、採(cǎi)用微型腔體四極質譜氣體採(cǎi)樣探頭，整機插拔式安裝。探頭的組裝採(cǎi)用自對準結構，在最大限度内減少真空系統引入塵埃，且便於(yú)清洗維護後的再次組裝；

2、自适應高頻諧振 RF 電(diàn)源，全固态電(diàn)路設計數據採(cǎi)集系統
，軟件自動掃描調節頻率，實現 RF 驅動電(diàn)路 Q 值最大，實現系統電(diàn)控部件小型集成化，提高整機可靠性；

3、将物理思路與嵌入式軟件相結合，採用瞭(le)氣體分子質譜自動校準軟件，使得在開機測量過程中無需外部輔助條件便可始終保持譜峰識别的絕對準確(què)性。

主要科研實驗内容

1、能夠(gòu)詳細地分析真空系統内部的微量氣體成份種類，各組份分壓強及系統總壓強，同時記錄各組氣體分壓強随時間的變(biàn)化；

2、可以任意設定包括氦在内的樣品氣(qì)體用作真空系統檢(jiǎn)漏；

3、在使用時對四極質譜分析過程的多種參數進行自由設定，可以根據各種電參數的改變(biàn)，看對氣氛質譜分析的影響，從而易於(yú)在基本原理的層次上對四極杆質譜教學分析過程有深入的理解。

主要技術參數

1、極(jí)限真空：6.7×10 -5 Pa；

2、抽氣系統：2XZ-4 機(jī)械泵 +FF100/110 分子泵；風(fēng)冷或水冷；

3、測(cè)量範圍：1 ～ 100AMU（質量與電(diàn)荷的比例）；

4、探測(cè)器種類(lèi)：法拉第杯；

5、工作壓強(qiáng)
：UHV（極(jí)限真空）～ 5.0×10 -2 Pa；

6、分辨率：峰高 10% 處(chù)小於(yú) 1.0 AMU ( 依據 1993 AVS 推薦方法 )

7、測(cè)量速度：2 ms ～ 60 s/AMU （軟(ruǎn)件設定）；

8、最大工作溫(wēn)度（探頭(tóu)）：200℃；

9、應(yīng)用軟(ruǎn)件：AccuRay 2.0 for Windows；

10、通訊(xùn)接口：USB 2.0 ( 非隔離(lí)，115200 波特率 )；

11、用戶需自備(bèi)或另購(gòu)冷卻水系統。