真空實驗儀是一個真空實驗平台。由真空獲得部分、真空鍍(dù)膜機構和電(diàn)控及儀表等部分組成，能夠很直觀反映真空獲得的全過程。

國(guó)家實(shí)用新型專利：ZL 2007 2 0107661.X

主要實驗内容

1、真空的獲得與測量；

2、蒸發法薄膜制備。

主要技術參數

1、設備(bèi)的真空室、油擴(kuò)散泵、真空管路部件全透明；

2、電(diàn)氣控制有安全防護，防止誤操作對人員和設備(bèi)造成損傷；

3、採(cǎi)用不鏽鋼、真空橡膠管結合管路
，閥門爲電(diàn)控雙向截止閥；

4、真空室：304 不鏽鋼(gāng)底盤(pán)和玻璃鍾罩組成，尺寸：Φ230×260mm；

5、真空測(cè)量：數顯複(fù)合真空計；

6、襯(chèn)底溫(wēn)度：室溫(wēn)～ 200℃（PID 控溫(wēn)）；

7、抽氣系統：2XZ-4B 機(jī)械泵 + 四級(jí)玻璃擴散泵，需水冷；

8、極(jí)限真空：9.6×10 -4 Pa；恢複(fù)真空：5×10 -3 Pa ＜ 40 分鍾；

9、1 組無氧銅電(diàn)極，蒸發功率：AC10V/150A；襯(chèn)底加熱、烘烤除氣；

10、可鍍(dù)膜尺寸：Φ70mm；

11、整機(jī)功率：3kW；16A 插座；

12、工作電(diàn)源
：AC220V±5，50Hz；

13、用戶需自備(bèi)或另購(gòu)冷卻水系統。