手套箱蒸鍍 / 濺射一體機

真空蒸發鍍膜與手套箱聯合系統的用戶群體爲科研院所及實驗室,将真空蒸發系統工作室置於(yú) Glove box 無水、無氧、無塵(chén)的超純環境中,PVD 與 Glove box(手套箱)硬件無縫對接,操控融合一體,廣泛應用於(yú) OPV(有機光伏電池)、OLED(有機發光二極管)、PLED(高分子發光二極管)等研究領域。

主要用途和适用範圍

本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,並(bìng)在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍後樣品的檢測。主要用於(yú)太陽能電池鈣钛礦、OLED 和 PLED、半導體制備等實驗研究與應用。

手套箱蒸鍍 / 濺射一體機設備技術參數

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