本裝置由我公司和中科院固體物理研究所聯合研制。設備(bèi)主要由薄膜沉積室、真空抽氣系統、氣源進氣調節系統、襯(chèn)底加熱溫度控制系統等部分組成。

主要實驗内容

1、矽(guī)材料在薄膜太陽能電(diàn)池上的應用；

2、矽系納米複(fù)合薄膜材料 PCVD 法制備(bèi)；

3、等離子體化學氣相沉積(jī)制備(bèi)各種功能薄膜。

技術參數