裝置将 13.560MHz 射頻源加至反應室外的電感線圈 , 用電感耦合方式激勵氣體 , 使其放電産(chǎn)生等離子體 . 這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點 , 並(bìng)可以獲得純淨的等離子體 . 裝置适合大學物理、材料、化學等領域科學研究之用。

實驗内容

1、等離子體消毒滅菌實驗 , 如大腸(cháng)杆菌 (8099)、金黃(huáng)色葡萄球菌 (ATCC6538)；

2、等離(lí)子體材料表面改性實驗 , 如紙張親水性、紙張接觸(chù)角；

3、等離(lí)子體材料表面清洗實(shí)驗；

4、等離(lí)子體聚合實(shí)驗。

主要技術參數

1、等離(lí)子體腔體體積(jī)：φ140mm×（H）155mm；

2、射頻(pín)功率： 0 ～ 500W；頻(pín)率：13.560MH Z ；

3、工作氣(qì)壓(yā)： 20 ～ 200Pa（建議工作在 100 Pa 以下）；

4、反應(yīng)腔本底真空： ≤ 5Pa；

5、反應(yīng)腔極(jí)限真空： 1×10 -1 Pa；

6、等離(lí)子體電(diàn)子溫度： 1 ～ 8Ev；

7、流量控制器： 0 ～ 1000sccm；

8、工作電(diàn)壓(yā)

： AC220V±5% 50Hz；

9、整機(jī)功率： ≤ 1.5KW；

10、整機(jī)重量： 約(yuē) 100Kg；

11、外形尺寸： 長(zhǎng) 650× 寬(kuān) 610× 高 1000mm。