Table PVD-15 金屬和有機物熱蒸發系統

應用領域：

Table PVD-15 一款小型電阻蒸發鍍膜儀，主要特點是設備(bèi)體積小，結構簡單緊湊易於(yú)操作， 适用於(yú)實驗室制備(bèi)金屬單質膜、 半導(dǎo)體膜、鈣钛礦太陽能電池、锂電池、有機膜等 ，也可用作教學及生産(chǎn)線前期工藝試驗等。 

 可鍍制低熔點金屬及合金材料薄膜，單(dān)層(céng) / 多層 / 複合膜，（ Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等）；鍍制非金屬 / 化合物 等材料薄膜（ Mo03, LiF） 等；有機材料等蒸發(fā)；太陽能電(diàn)池、LED 的研究和實驗；描電(diàn)鏡(jìng)制樣等。

Table PVD-15 有機物蒸發鍍膜儀.jpg

基本配置： 

◆真空腔室：Φ250mm(ID) x 300mm(H) 

◆真空系統：機械泵 + 分子泵兩級真空系統 前級泵：VRD-16 機械泵，抽速：4L/S 主抽泵：分子泵，抽氣(qì)速率：300L/S 主抽閥：CCQ-100 超高真空氣動插闆閥， 

◆極限真空：<5×10-5Pa 

◆恢複真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

◆真空測量：“兩低一高” 數顯複合真空計 

◆蒸 發 源 ：2 組金屬蒸發源；（标配） 最多 2 個有機束源爐源；（選配） 

◆蒸發電(diàn)源：採(cǎi)用恒壓、恒流真空鍍膜電(diàn)源， 最大功率 2.4KW，電流調節精度：0.01A 

◆樣(yàng)品台：可容納(nà)樣(yàng)品最大尺寸：3 英寸樣品托一個 , 配擋闆，轉速 0-30rpm 連續可調 ; 樣品可加熱控溫， 溫度範圍：室溫 -300℃，控溫精度 ±0.5℃； 

◆系統控制：10 英寸觸摸屏 +PLC 控制（可選手動按鈕控制）

◆工作氣體 : 幹燥壓縮空氣、氮氣 

◆電 源 : 單相 220V , 50Hz, 16A 

◆冷 凍 水 :18-25℃ , 1L/min，壓力 < 0.4MPa

選擇配置： 

◆樣品台可水冷，採(cǎi)用直接式水冷形式，水冷不控溫(wēn) 

◆全量程真空計（ Inficon） 

◆速率 / 膜厚監控測儀（SQM-160） 

◆可選進口蒸發電源 

系統要求标準配置： 

◆真空腔室：Φ250mm(ID) x 300mm(H) 

◆真空系統：機械泵 + 分子泵兩級真空系統 前級泵：VRD-16 機械泵，抽速：4L/S 主抽泵：分子泵，抽氣(qì)速率：300L/S 主抽閥：CCQ-100 超高真空氣動插闆閥， ◆極限真空：<5×10-5Pa 

◆恢複真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

◆真空測量：“兩低一高” 數顯複合真空計 

◆蒸 發 源：2 組金屬蒸發源；（标配） 最多 2 個有機束源爐源；（選配） 

◆蒸發電(diàn)源：採(cǎi)用恒壓、恒流真空鍍膜電(diàn)源， 最大功率 2.4KW，電流調節精度：0.01A 

◆樣(yàng)品台：可容納(nà)樣(yàng)品最大尺寸：3 英寸樣品托一個 , 配擋闆，轉速 0-30rpm 連續可調 ; 樣品可加熱控溫， 溫度範圍：室溫 -300℃，控溫精度 ±0.5℃； 

◆系統控制：10 英寸觸摸屏 +PLC 控制（可選手動按鈕控制）


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